每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
万级无尘室24小时
干热灭菌实例:隧道灭菌机验证项目
100000级≥15次;
2020-12-10 下午 1时55分41秒 星期四
万级无尘室24小时
干热灭菌实例:隧道灭菌机验证项目
100000级≥15次;